SEMALAB
     


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2 Remote

Plasma ALD

: Metal/Oxide

 

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Thermal ALD

: Oxide

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Probe Station

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PECVD & ALD  Chamber

: Metal/Oxide

 

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8 Remote Plasma ALD

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XPS

(X-ray Photoelectron Spectroscopy)

:ڸ ȭ ջ м

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E-Beam Evaporator

: Metal

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RF/DC Sputter

: Metal/Oxide

 

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AES

(Auger Electron Spectroscopy)

: ڸ м

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In-Situ AES

: ڸ м

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Thermal Evaporator

: Metal

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XRD

(X-ray Diffraction)

: ڸ м

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QMA

(Quadrupole  Mass Analysis)

: ܷ   Gas м

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Spin Coater

: ݵü

 

   

 

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